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磁控溅射
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磁控溅射
磁控溅射
磁控溅射是入射粒子和靶的碰撞过程,入射粒子在靶中经历复杂的散射过程,和靶原子碰撞,把部分动量传给靶原子,此靶原子又和其他靶原子碰撞,形成级联过程。在这种级联过程中某些表面附近的靶原子获得向外运动的足够动量,离开靶被溅射出来,最终得到紧凑的薄...
发布时间:2022-06-07
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