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电弧蒸发

电弧蒸发

电弧蒸发是物理气相沉积的一种方式此工艺是将被蒸发的固体金属（靶材）置于真空腔室内，产生辉光放电后，在靶材表面运行，靶材在很小的几个微米大小内蒸发，电弧的运动是由磁场所控制的，蒸发出的金属离子形成的等离子体将沉积于工件表面，这些工件是...

发布时间：2022-06-07

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